派瑞林parylene鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 600/700為派瑞淋涂覆系統(tǒng)，采用模塊化架構(gòu)，主要由兩個功能模塊組成：工藝腔室模塊和蒸發(fā)器模塊。廣泛應(yīng)用于多個行業(yè)，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號：Series 3000 LV 600/700
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-07-01
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產(chǎn)品詳情

派瑞林parylene鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 600/700為派瑞淋涂覆系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于多個行業(yè)，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。

Parylene System Series 3000 LV 600/700 是一款模塊化設(shè)計的系統(tǒng)，主要由兩部分組成：腔室模塊與蒸發(fā)器模塊。我們眾多設(shè)備均采用此類模塊化設(shè)計，旨在確保系統(tǒng)的靈活性，從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調(diào)整。其中，“3000"代表產(chǎn)品系列，而“LV600/700"則用于標識機器腔室的尺寸規(guī)格。該尺寸設(shè)計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求。我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升。此外，該系統(tǒng)標配等離子源，并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質(zhì)量流量控制器，以滿足不同氣體入口的需求。

派瑞林parylene鍍膜設(shè)備

派瑞林parylene鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 600/700

尺寸	L:2400mm W:960mm H:1460mm
重量	350kg
腔體容量	600/700L
工藝腔體	800mm? H: 1100mm (600 L) 800mm? H: 1300mm (700 L)
等離子源	2.45GHz, 1200 W
氣路	1 路氣體通道（內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)），最多可擴展至 3 路氣體通道。
冷卻系統(tǒng)	8L（機電式冷阱）
真空連接	DIN 63 ISO-KF
排氣	電磁式排氣閥
真空泵	抽速75m3/h
電氣連接	三相五線制，交流 50 Hz，電壓 400 V / 240 V，最大功率消耗 8.5 kW

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機型。同時，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計，在小占地面積下提供高性能技術(shù)，節(jié)約大量的超凈間占地空間。

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