NEE-4000（A）全自動電子束蒸發系統：NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔配置，樣品臺位于主腔體，二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間的門閥作為預真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，通過主腔放入基片到樣平臺（或夾具）上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預真空鎖實現。通過PC計算機控制，系統可以提供多電子束源的共蒸發能力，以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

產品型號：NEE-4000（A）
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-04-28
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產品詳情

電子束蒸發技術

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發系統概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置，其中樣品臺位于主腔體內，二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時，他可以通過第三方的預真空鎖來實現，這可以設置于立方體的左側。通過PC計算機控制，系統可以提供多電子束源的共蒸發能力，以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發系統特點：

順序蒸發或共蒸發
雙電子束源
多凹槽電子槍
可編程電子束掃描
10KW開關電源
渦輪分子泵，極限真空5x10-7Torr
自動上下載片
材料和襯墊更換非常方便
晶振式膜厚監測儀
通過LabView軟件實現PC計算機控制
菜單驅動，四級訪問密碼保護
*的安全聯鎖

產品型號：

NEE-3500：計算機全自動控制的緊湊型獨立系統
NEE-4000：計算機全自動控制的獨立系統

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