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更新時間：2017-08-17 
瀏覽次數：3055八月初，深圳先進院磁控濺射NSC-3500安裝條件已具備，NANO-MASTER的工程師們為深圳先進院安裝調試實施。
本套NSC-3500是帶機械手臂的全自動控制型號，標準配置帶有水冷或者加熱(zui高可加熱到700度)功能，zui大到6"旋轉平臺，zui大可支持到3個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7 Torr，15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-3500 帶有14"立方形不銹鋼腔體，3個2"的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，350 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。
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